mask aligner
[mɑ:sk əˈlainə]
- 基础释义 纠错
- 网络
掩模对准器
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1、
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2、
The Wedge Error Compensation Technology Used in the Double Sides Mask Aligner
一种应用于双面光刻机中的楔形误差补偿技术
来源：互联网摘选 -
3、
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4、
楔形误差补偿技术是双面光刻机中的关键技术之一，它使基片表面和掩模电路图形表面形成2个平行平面，提供给对准工作台进行对准操作。
来源：互联网摘选 -
5、
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